Method for transporting substrates in substrate treatment system, involves moving substrates in substrate treatment system by transport equipment, and clamping return strand of traction unit during operation of drive unit

The method involves moving substrates in a substrate treatment system (1) by transport equipment (2). The transport equipment is driven with a drive unit e.g. electric motor, and a traction unit (31) by a driving device (3). A return strand of the traction unit is clamped during operation of the drive unit. The return strand is clamped during reversal of motion of the transport equipment. The drive unit and/or a pneumatic actuation unit are arranged outside the treatment system. Vacuum-tight rotary feed-throughs are provided in a process chamber. An independent claim is also included for a driving device. Es wird ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen (1) vorgeschlagen, bei dem ein Substrat mittels einer Transporteinrichtung (2) in der Substratbehandlungsanlage (1) bewegt wird, wobei die Transporteinrichtung (2) durch eine Antriebseinrichtung (3) mit einem Antriebsmittel (34) und einem Zugmittel (31) angetrieben wird, wobei während des Betriebs des Antriebsmittels (34) das Leertrum (32) des Zugmittels (31) gespannt wird. Weiterhin wird eine Antriebseinrichtung (3) für eine Transporteinrichtung (2) einer Substratbehandlungsanlage (1) vorgeschlagen, die ein Antriebsmittel (34) mit einem antreibenden Rad (35) und ein Zugmittel (31) umfasst, welches um das antreibende Rad (35) und mindestens ein angetriebenes Rad (22) der Transporteinrichtung (2) geführt ist und diese im Betrieb der Substratbehandlungsanlage (1) antreibt, wobei die Antriebseinrichtung (3) weiterhin mindestens ein Spannmittel (4) umfasst, das mit dem Zugmittel (31) zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung (2) so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Leertrum (32) des Zugmittels (31) eine Spannkraft wirkt.