Anordnung zur Beschichtung von Substraten

Anordnung zur Beschichtung von Substraten, die in einem Vakuumraum eine Beschichtungsquelle und eine Substratauflage aufweist, zu der die Beschichtungsquelle einseitig angeordnet ist, so dass die Substratauflage eine zu der Beschichtungsquelle weisende Beschichtungsquellenseite und eine der Beschich...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	STEUER, CHRISTOPH, SENS, MARTIN, KRALAPP, UWE, HUMMEL, HENDRIK, UHLEMANN, AIKO, FABER, JOERG, POLLACK, GERD, BARTH, SVEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Anordnung zur Beschichtung von Substraten, die in einem Vakuumraum eine Beschichtungsquelle und eine Substratauflage aufweist, zu der die Beschichtungsquelle einseitig angeordnet ist, so dass die Substratauflage eine zu der Beschichtungsquelle weisende Beschichtungsquellenseite und eine der Beschichtungsquelle abgewandte Rückseite aufweist und dass die Substratauflage in dem Vakuumraum einen Beschichtungsraum auf der Beschichtungsquellenseite und einen Rückseitenraum auf der Rückseite der Substratauflage definiert, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Rückseitenraum eine Beschichtung der Rückseite verringernde und die nicht zur Beschichtung vorgesehenen Teilchen bindende Teilchenfalle angeordnet ist, wobei die Teilchenfalle aus einem in einem Abstand zu der Substratauflage angeordneten Auffangelement besteht, auf dessen zur Beschichtungsquelle weisenden Seite zueinander beabstandete Ablenkelemente angeordnet sind, deren jeweilige Oberflächen überwiegend eine Flächensenkrechte aufweisen, die zu der Richtung zu der Beschichtungsquelle hin einen Winkel von 90° bis 45° einschließt, wobei der Abstand höchsten gleich einem Abstand zwischen der Beschichtungsquelle und der Substratauflage ist.