Positionsmessvorrichtung
Positionsmessvorrichtung zur Bestimmung der Position eines Raumpunktes (TCP) mit- mindestens einem Retroreflektor (10.1 - 10.4);- einer Lichtquelle (40);- einer Scan-Einheit (20), welcher ein von der Lichtquelle (40) gelieferter Lichtstrahl zuführbar ist und mindestens einen Scanspiegel (21) aufweis...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Positionsmessvorrichtung zur Bestimmung der Position eines Raumpunktes (TCP) mit- mindestens einem Retroreflektor (10.1 - 10.4);- einer Lichtquelle (40);- einer Scan-Einheit (20), welcher ein von der Lichtquelle (40) gelieferter Lichtstrahl zuführbar ist und mindestens einen Scanspiegel (21) aufweist, der um zwei unterschiedliche Rotationsachsen (22.1, 22.2) reproduzierbar auslenkbar gelagert ist, die sich im Mittelpunkt des Scanspiegels (21) kreuzen, so dass ein rasterförmiges Abtasten eines zweidimensionalen Raumbereichs mittels eines teildivergenten Lichtstrahls (L) über mehrere Abtastbahnen (11.1 - 11.5) erfolgt, bezüglich dem mindestens ein Retroreflektor (10.1 - 10.4) angeordnet ist, wobei- entweder der Retroreflektor (10.1 - 10.4) stationär im Raum angeordnet ist und die Scan-Einheit (20) im Bereich des Raumpunkts (TCP) angeordnet ist oder- die Scan-Einheit (20) stationär im Raum angeordnet ist und der Retroreflektor (10.1 - 10.4) im Bereich des Raumpunkts (TCP) angeordnet ist,- einem Optikelement (70), welches zwischen der Lichtquelle (40) und dem Scanspiegel (21) angeordnet und dergestalt ausgebildet ist, dass darüber eine Fokussierung des von der Lichtquelle (40) emittierten Lichtstrahls in die Nähe der Spiegelebene des Scanspiegels (21) erfolgt und nach der Reflexion am Scanspiegel (21) ein teildivergenter Lichtstrahl (L) zum periodisch rasterförmigen Abtasten des Raumbereichs resultiert,- einer interferometrischen Abstandsmesseinheit (30) mit- einem Strahlteilerelement (32), über das eine Aufspaltung des von der Lichtquelle (40) gelieferten Lichtstrahls dergestalt erfolgt, dass die aufgespaltenen Lichtstrahlen einen Referenzarm (R) und einen Messarm (M) mindestens einmal in jeder Richtung durchlaufen und wobei der Messarm (M) in dem Bereich ausgebildet ist, in dem der teildivergente Lichtstrahl (L) von der Scan-Einheit (20) in Richtung Retroreflektor (10.1- 10.4) und zurück propagiert,- einer optoelektronischen Detektoreinheit (300), über die eine Detektion von Abstandssignalen aus den überlagerten Lichtstrahlen aus dem Referenzarm (R) und dem Messarm (M) erfolgt, wenn zum Zeitpunkt des optischen Kontakts zwischen der Scan-Einheit (20) und dem Retroreflektor (10.1 - 10.4) eine Rückreflexion des Lichtstrahls (L) vom Retroreflektor (10.1 - 10.4) in Richtung der Scan-Einheit (20) resultiert.
A position measuring arrangement that includes a retroreflector, a light source generating a lightbeam and a scanning unit that generates a partially-divergen |
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