Verfahren zum präzisen Messbetrieb eines mikromechanischen Drehratensensors

Verfahren zum präzisen Messbetrieb eines mikromechanischen Drehratensensors, umfassend zumindest eine auslenkbar aufgehängte seismische Masse (1, 15, 20), wenigstens eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der seismischen Masse (1, 15, 20) und mindestens ein erstes (2, 11, 18) und ein zweites (3, 12, 19) Trimm-Elektrodenelement, welche der seismischen Masse (1, 15, 20) direkt oder indirekt gemeinsam zugeordnet sind, wobei zwischen dem ersten Trimm-Elektrodenelement (2, 11, 18) und der seismischen Masse (1, 15, 20) eine erste elektrische Trimmspannung (U, U, U) sowie zwischen dem zweiten Trimm-Elektrodenelement (3, 12, 19) und der seismischen Masse (1, 15, 20) eine zweite elektrische Trimmspannung (U, U, U) eingestellt werden, wobei die erste und die zweite elektrische Trimmspannung zumindest in Abhängigkeit eines Quadraturparameters (U) und eines Resonanzparameters (U) eingestellt werden. A method and apparatus for the precise measuring operation of a micromechanical rotation rate sensor, including at least one deflectively suspended seismic mass, at least one drive device for driving the seismic mass, and at least one first and one second trimming electrode element, which are jointly assigned directly or indirectly to the seismic mass, a first electrical trimming voltage (UTO1, UTLO1, UTRO1) being set between the first trimming electrode element and the seismic mass, and a second electrical trimming voltage (UTO2, UTLO2, UTRO2) being set between the second trimming electrode element and the seismic mass, the first and the second electrical trimming voltages being set at least as a function of a quadrature parameter (UT) and a resonance parameter (Uf).