Optical component for lithography lens in projection illumination system for manufacturing semiconductor components, has sections whose resistance is selected, so that point remains at location, during temperature gradient occurrence

The component (11) has a holding device (10) i.e. socket, for optical elements (3) e.g. mirrors. The holding device has holding elements arranged around a circumference of the optical elements. The optical elements are in contact with the holding elements indirectly. The holding elements exhibit two sections aligned together in opposite direction. Thermal resistance of the sections is selected, such that a point, at which the holding elements are in contact with the optical elements, remains at a location, during occurrence of temperature gradient in the holding elements. An independent claim is also included for a method for manufacturing a semiconductor component. Eine optische Baugruppe weist wenigstens ein optisches Element und eine Haltevorrichtung für das optische Element auf, welche mehrere um den Umfang des optischen Elements verteilt angeordnete Halteelemente aufweist, mit denen das optische Element zumindest mittelbar in Kontakt ist. Die Halteelemente weisen jeweils zwei Abschnitte auf, die im Wesentlichen in Gegenrichtung zueinander ausgerichtet sind. Der thermische Widerstand der beiden Abschnitte ist derart gewählt, dass bei Auftreten eines Temperaturgradienten in dem Halteelement der Punkt, an dem das Halteelement mit dem optischen Element in Kontakt ist, im Wesentlichen an demselben Ort bleibt.