Lineardirektantrieb

Lineardirektantrieb, mit einem sich längs einer, in einer Verfahrrichtung ausgerichteten Hauptachse (13) erstreckenden Basiselement (12), das wenigstens zwei in Hauptachsrichtung verlaufende Führungsschienen (14a, 14b) und eine Permanentmagnetanordnung (17) aufweist, und mit einem Schlitten (19), der eine Antriebsspulenanordnung (24) besitzt und mittels wenigstens zweier, jeweils einer der Führungsschienen (14a, 14b) zugeordneten Führungseinheiten (20a, 20b) in Hauptachsrichtung linearbeweglich am Basiselement (12) gelagert ist, wobei zwischen den Führungseinheiten (20a, 20b) und den jeweils zugeordneten Führungsschienen (14a, 14b) jeweils wenigstens ein, eine reibungsarme Bewegung des Schlittens (19) ermöglichendes Führungselement angeordnet ist, das mit einer vom Schlitten (19) auf das Basiselement (12) ausgeübten Vorspannkraft beaufschlagt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Schlitten (19) einen ersten und einen zweiten Schlittenabschnitt (21a, 21b) aufweist, die jeweils wenigstens eine der Führungseinheiten (20a, 20b) besitzen und die über eine Kompensationsstabanordnung (25) mit mehreren Kompensationsstäben (26, 27), von denen wenigstens zwei voneinander verschiedene thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, derart miteinander verbunden sind, dass durch eine Kopplung der Kompensationsstäbe (26, 27) untereinander, verbunden mit sich gegenseitig ausgleichenden temperaturbedingten unterschiedlichen Längenänderungen der Kompensationsstäbe (26, 27) eine temperaturbedingte Gestaltänderung der Schlittenabschnitte (21a, 21b) derart ausgleichbar ist, dass die vom Schlitten auf die Führungselemente ausgeübte Vorspannkraft in einem Betriebstemperaturbereich des Lineardirektantriebs (11) zumindest im Wesentlichen konstant ist.