Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren hierfür

Verfahren zur Herstellung einer Sensorvorrichtung, aufweisend: Bereitstellen eines Sensorchips (30) mit einem Substrat (30a), einem Erfassungsbauteil (32) auf dem Substrat (30a) und wenigstens einem Anschluss (34a bis 34f) auf dem Substrat (30a) zur Signalausgabe von dem Erfassungsbauteil (32); Bere...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Toyoda, Inao
Format: Patent
Sprache:ger
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