Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren hierfür
Verfahren zur Herstellung einer Sensorvorrichtung, aufweisend: Bereitstellen eines Sensorchips (30) mit einem Substrat (30a), einem Erfassungsbauteil (32) auf dem Substrat (30a) und wenigstens einem Anschluss (34a bis 34f) auf dem Substrat (30a) zur Signalausgabe von dem Erfassungsbauteil (32); Bere...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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