Magnetron sputtering assembly has a ceramic cruciform electrical separator between magnetic system and drive

A magnetron sputtering assembly has a stationary target resting on a high voltage contact, a moving magnet that moves parallel with the target plane, and a magnet guide system coupled to a drive in contact with the earth. An electrical separating element is located between the magnetic system and th...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HUHN, MICHAEL, DEUS, CARSTEN, HAEHNE, SVEN, ZSCHIESCHANG, ERWIN, TESCHNER, GOETZ
Format:	Patent
Sprache:	eng ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A magnetron sputtering assembly has a stationary target resting on a high voltage contact, a moving magnet that moves parallel with the target plane, and a magnet guide system coupled to a drive in contact with the earth. An electrical separating element is located between the magnetic system and the drive. The electrical separator (10) is a sliding cruciform unit fabricated of ceramic material and forming part of the magnetic slide system and drive. Bei einer Magnetronsputtereinrichtung mit bewegbarem Magnetfeld, die ein stationär angeordnetes, planares Target umfasst, welches im Betrieb auf Hochspannungspotential liegt, weiter ein Magnetsystem umfasst, welches in einer parallel zur Targetebene liegenden Bewegungsebene beweglich gelagert ist, sowie mindestens eine mit Führungselementen des Magnetsystems in Wirkverbindung stehende Antriebseinrichtung umfasst, welche im Betrieb auf Massepotential liegt, wird vorgeschlagen, zwischen Magnetsystem und Antriebseinrichtung ein Potentialtrennelement anzuordnen.