Mikrostruktur, Verfahren zu deren Herstellung, Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur und Mikrosystem

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur, ein Verfahren zu deren Herstellung, eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur sowie ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist. Die erfindungsgemäße Mikrostruktur weist ein Bondsubstrat und ein reaktives Mehrschichtsystem auf, wobei auf dem Bondsubstrat oder auf wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Haft- und/oder Benetzungsschicht eine abgeschiedene Lot- oder Verbindungsschicht vorgesehen ist und das reaktive Mehrschichtsystem eine auf der Lot- oder Verbindungsschicht abgeschiedene und/oder die Lot- oder Verbindungsschicht umfassende abgeschiedene Schichtfolge aus wenigstens zwei mehrfach alternierenden Nanoschichten unterschiedlicher Materialien ist. A microstructure has at least one bonding substrate and a reactive multilayer system. The reactive multilayer system has at least one surface layer of the bonding substrate with vertically oriented nanostructures spaced apart from one another. Regions between the nanostructures are filled with at least one material constituting a reaction partner with respect to the material of the nanostructures. A method for producing at least one bonding substrate and a reactive multilayer system, includes, for forming the reactive multilayer system, at least one surface layer of the bonding substrate is patterned or deposited in patterned fashion with the formation of vertically oriented nanostructures spaced apart from one another, and regions between the nanostructures are filled with at least one material constituting a reaction partner with respect to the material of the nanostructures. A microsystem is formed from two bonding substrates and a construction lying between the bonding substrates, the construction having a reacted reactive layer system. The microsystem is a sensor coated with biomaterial and/or has elements composed of polymeric material and/or at least one magnetic and/or piezoelectric and/or piezoresistive component.