Gasduschenmodul

Gasduschenmodul für eine Gasabscheidungskammer mit mindestens einem Gaskanal, mindestens einem Verteiler und einem Duschkopf, wobei der Gaskanal mit dem Verteiler verbunden ist, um Gas an den Verteiler zu liefern, und wobei der Verteiler und der Duschkopf miteinander verbunden sind, um dem Gas zu ermöglichen von dem Verteiler zum Duschkopf zu fließen, wobei der Verteiler weiterhin aufweist wenigstens eine Diffusionszelle, die darin entlang einer ersten axialen Richtung ausgebildet ist, und eine Vielzahl an Einlässen, die jeweils mit dem Gaskanal und der Diffusionszelle verbunden sind, und der Duschkopf aufweist wenigstens einen Duschkanal, der darin entlang einer zweiten axialen Richtung ausgebildet ist; eine Vielzahl an Gaseinlasskanälen, um den wenigstens einen Duschkanal mit der Diffusionszelle zu verbinden; und eine Vielzahl an Gasauslasskanälen, um den wenigstens einen Duschkanal mit der Gasabscheidungskammer zu verbinden; wobei die erste axiale Richtung nicht parallel zur zweiten axialen Richtung ist. A gas shower module for gas deposition chamber with gas channel is disclosed, which comprises: a distributor with at least one diffusion cell positioned therein along first axial direction and a plurality of inlets respectively connecting to the gas channel and the diffusion cell; and a shower with at least one shower channel positioned therein along second axial direction, gas-inlet passages connected to the diffusion cell and the shower channel, and gas-outlet passages connected to the shower channel and gas deposition chamber; wherein the distributor is connected to the shower so that the diffusion cell will be connected to the shower channel through gas-inlet passages and the first axial direction is not be parallel to the second axial direction.