Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche eines Objekts

Teilchenstrahlgerät (1), mit - einer ersten Teilchenstrahlsäule (2), die einen ersten Strahlerzeuger (5) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls und ein erstes Strahlführungssystem (13, 16, 37) aufweist, - einer zweiten Teilchenstrahlsäule (45), die einen zweiten Strahlerzeuger (38) zur Erzeugung eine...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Bühler, Wolfram, Albiez, Michael
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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