Teilchenoptische Vorrichtung mit Magnetanordnung

Die Erfindung stellt eine teilchenoptische Vorrichtung bereit, die eine Teilchenquelle zur Erzeugung wenigstens eines Strahls geladener Teilchen und eine Magnetanordnung mit zwei Polplatten umfasst, welche mit Abstand voneinander angeordnet sind, so dass der Strahl geladener Teilchen im Betrieb zwischen den beiden Polplatten hindurchtritt, wobei in den Polplatten Gräben vorgesehen sind, in welchen Spulendrähte angeordnet sind. Die Wärmeentwicklung in den Spulen und/oder der Wärmeübergang von den Spulen in die Polplatten wird verringert und/oder stabilisiert. A particle optical apparatus has a particle source for generating at least one beam of charged particles, and a magnet arrangement having two pole plates, which are arranged spaced apart from one another, such that the at least one beam of charged particles in operation passes through the pole plates, wherein trenches are provided in the pole plates, in which trenches coil wires are arranged. The trenches, when viewed in a cross section transverse to an extension direction of the trenches, have a smaller width in a region of a surface of the pole plates, than in a region arranged at a distance from the surface.