Resonator, Drehratensensor mit Resonator, Herstellungsverfahren für einen Resonator und Verfahren zum Einstellen einer Eigenfrequenz eines Resonators

Resonator mit:einer Halterung (46);einer Schwingmasse (30,34,36);einem Antrieb (38,40), welcher dazu ausgelegt ist, während eines Betriebs des Resonators die Schwingmasse (30,34,36) in Bezug auf die Halterung (46) in eine Schwingbewegung zu versetzen; undeiner Feder (32,44,48), über welche die Schwingmasse (30,34,36) mit der Halterung (46) verbunden ist; dadurch gekennzeichnet, dassder Antrieb (38,40) dazu ausgelegt ist, während des Betriebs des Resonators die Schwingmasse (30,34,36) in Bezug auf die Halterung (46) in die Schwingbewegung mit einer Amplitude (22) aus einem Amplitudenbereich mit mindestens einer vorgegebenen Minimalamplitude und einer vorgegebenen Maximalamplitude zu versetzen, unddie Feder (32,44,48) so ausgebildet ist, dass die Feder (32,44,48) bei einer Schwingbewegung der Schwingmasse (30,34,36) mit der vorgegebenen Minimalamplitude eine erste mittlere Federsteifigkeit und bei einer Schwingbewegung der Schwingmasse (30,34,36) mit der vorgegebenen Maximalamplitude eine zweite mittlere Federsteifigkeit, welche größer als die erste mittlere Federsteifigkeit ist, aufweist. The resonator has oscillating masses (30) connected with one another, and springs (32, 44, 48) connecting the masses with a base substrate (46) that is connected with a drive frame (36). Actuator electrode fingers (38) and stator electrode fingers (40) are provided for pivoting movement of the masses with amplitude from an amplitude range of minimum amplitude and maximum amplitude. The springs have two spring rigidity during the pivoting movement of the masses with the minimum and maximum amplitudes, respectively, where one of the rigidity is larger than the other rigidity. Independent claims are also included for the following: (1) a method for manufacturing a resonator (2) a method for setting a natural frequency of a resonator.