Flüssigkristallanzeige und Verfahren zum Herstellen derselben
Ein Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige weist auf: Bereitstellen eines ersten Substrates; Ausbilden einer Gate-Elektrode und einer Gate-Leitung auf dem ersten Substrat; Ausbilden einer ersten Isolierschicht auf dem ersten Substrat; Ausbilden einer aktiven Struktur, einer ohmschen K...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Ein Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige weist auf: Bereitstellen eines ersten Substrates; Ausbilden einer Gate-Elektrode und einer Gate-Leitung auf dem ersten Substrat; Ausbilden einer ersten Isolierschicht auf dem ersten Substrat; Ausbilden einer aktiven Struktur, einer ohmschen Kontaktschicht und einer diffusionsverhindernden Schicht auf einem oberen Abschnitt auf der Gate-Elektrode unter Verwendung von Trockenätzen, und Ausbilden von Source-Elektrode und Drain-Elektrode auf der diffusionsverhindernden Schicht durch Verwenden von Nassätzen; Ausbilden einer zweiten Isolierschicht auf dem ersten Substrat; Ausbilden eines Kontaktloches durch Entfernen eines Abschnittes der zweiten Isolierschicht und Freilegen eines Abschnittes der Drain-Elektrode; Ausbilden einer Pixel-Elektrode, elektrisch verbunden mit der Drain-Elektrode mittels des Kontaktloches; und Befestigen des ersten Substrats mit dem zweiten Substrat, wobei die diffusionsverhindernde Schicht eine Metallspitze aufweist, die verglichen mit der Source-Elektrode und der Drain-Elektrode hervorsteht, gebildet durch Trockenätzen.
A liquid crystal display device including a gate electrode and a gate line formed on a first substrate, a first insulating layer formed on the first substrate, an active pattern, an ohmic-contact layer, and a diffusion preventing layer formed on the gate electrode, a data line to cross source and drain electrodes and the gate line formed on the diffusion preventing layer to define a pixel area, a second insulating layer formed on the first substrate, a contact hole formed by removing a portion of the second insulating layer and exposing a portion of the drain electrode, a pixel electrode electrically connected with the drain electrode via the contact hole, and a second substrate attached with the first substrate in a facing manner, wherein the diffusion preventing layer comprises a metal tip protruded to the side of the source and drain electrodes. |
---|