Elektronenstrahlquelle, Elektronenstrahlsystem mit derselben, Verfahren zur Herstellung der Elektronenstrahlquelle sowie deren Verwendung

Elektronenstrahlquelle (5), umfassend:einen Sockel (53, 53a),eine an dem Sockel (53, 53a) befestigte und sich von diesem weg erstreckende Spitze (60, 60a), welche einen Kern (57, 57a) mit einer Oberfläche aus einem ersten Material und eine auf die Oberfläche des Kerns (57, 57a) aufgebrachte Beschichtung (59, 59a) aus einem zweiten Material aufweist,einen ersten elektrischen Anschluss (35, 36), der mit der Beschichtung (59, 59a) elektrisch leitend verbunden ist,eine Extraktionselektrode (6, 8) mit einer Öffnung (9), die der Spitze (60, 60a) gegenüberliegend angeordnet ist, undeinen zweiten elektrischen Anschluss (37, 38), der mit der Extraktionselektrode (6, 8) elektrisch leitend verbunden ist,wobei wenigstens eine der folgenden Bedingungen erfüllt ist:die elektrische Leitfähigkeit des ersten Materials ist kleiner als 105S/m,die elektrische Leitfähigkeit des zweiten Materials ist größer als 10-7S/m unddas Verhältnis aus der elektrischen Leitfähigkeit des zweiten Materials und der elektrischen Leitfähigkeit des ersten Materials ist größer als 10:1,dadurch gekennzeichnet, dassdas erste Material diamantähnlicher Kohlenstoff ist unddie Elektronenstrahlquelle (5) dazu eingerichtet ist, Elektronenstrahlen (13) mit einer Stromstärke von mehr als 0,1 µA zu erzeugen. A tip of an electron beam source includes a core carrying a coating. The coating is formed from a material having a greater electrical conductivity than a material forming the surface of the core.