Diffusionseinrichtung für die Solarzellenfertigung und Verfahren zur Herstellung von Solarzellen

Diffusionseinrichtung (1; 28) für die Solarzellenfertigung, aufweisend einen ersten Dotierstoffquellenapplikator (3), mittels welchem eine Dotierstoffquelle auf einem Substrat (7) anordenbar ist, einen in Prozessrichtung (10) nachfolgend angeordneten, von den Substraten (7) durchlaufbaren ersten Dur...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	NUSSBAUMER, HARTMUT
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Diffusionseinrichtung (1; 28) für die Solarzellenfertigung, aufweisend einen ersten Dotierstoffquellenapplikator (3), mittels welchem eine Dotierstoffquelle auf einem Substrat (7) anordenbar ist, einen in Prozessrichtung (10) nachfolgend angeordneten, von den Substraten (7) durchlaufbaren ersten Durchlaufofen (12), mittels welchem Dotierstoff aus der Dotierstoffquelle (5) in das Substrat (7) eindiffundierbar ist, einen in Prozessrichtung (10) nach dem ersten Durchlaufofen (12) angeordneten zweiten Durchlaufofen (14; 44), welcher dazu eingerichtet ist, eine Oberflächen passivierende Schicht auf den Substraten (7) auszubilden, während diese den zweiten Durchlaufofen (14; 44) durchlaufen, und eine zwischen dem ersten (12) und dem zweiten Durchlaufofen (14; 44) angeordnete Ätzvorrichtung (16), welche dazu eingerichtet ist, während des Durchlaufens des ersten Durchlaufofens (12) an der Oberflgstens teilweise zu entfernen, sowie Verfahren zur Herstellung von Solarzellen (60).