Optical device e.g. illumination system, operating method for use in projection exposure system, involves storing element such that no parasitic adjustments or changes of element develop during or after rotation in imaging characteristics

The method involves providing a device for storage of a swiveling optical element (21) i.e. optical lens, such that rotation of the optical element is enabled. The optical element is rotated around an optical axis. The optical element is stored such that no parasitic adjustments or changes of the optical element develop during and/or after the rotation in imaging characteristics. Other optical elements are manipulated in a set of planes conjugated for the plane of the rotated optical element for compensation of imaging changes by the rotation of the element. An independent claim is also included for a device for the storage of an optical element. Die vorliegende Erfindung betrifft Vorrichtungen und ein Verfahren zum Betrieb einer optischen Einrichtung, bei welchem zur Vermeidung oder Kompensation von Abbildungsfehlern ein oder mehrere optische Elemente um die optische Achse verdreht werden, mit folgenden Schritten: - Bereitstellen einer Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elements (21), welche derart hergerichtet ist, dass eine Drehung des optischen Elements möglich ist, - Drehen des optischen Elements um die eigene optische Achse, - Lagerung des optischen Elements derart, dass keine parasitären Verstellungen oder Veränderungen des optischen Elements während und/oder nach der Drehung entstehen oder sich im Abbildungsverhalten auswirken und/oder Manipulationen eines oder mehrerer anderer optischer Elemente in einer oder mehreren zur Ebene des gedrehten optischen Elements konjugierten Ebenen zur Kompensation von Abbildungsveränderungen durch die Drehung des optischen Elements.