Production of an elastic deformation body used in the manufacture of a measuring membrane for a pressure sensor comprises forming a homogeneous mixture, forming a spray granulate, molding into a green body and sintering

Production of an elastic deformation body comprises forming a homogeneous mixture with highly pure alumina and organic and optional inorganic additives using aqueous processing, forming a spray granulate which can be pressed, molding into a homogeneous green body using uniaxial pressing method and s...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OBERBACH, UTA, ROSBERG, ANDREAS, LUDWIG, HENRY, HEGNER, FRANK, KASTNER, FRANK
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Production of an elastic deformation body comprises forming a homogeneous mixture with highly pure alumina and organic and optional inorganic additives using aqueous processing, forming a spray granulate which can be pressed, molding into a homogeneous green body using uniaxial pressing method and sintering. The highly pure alumina has a purity of 99.9% and a specific surface area of not less than 10 m 2>/g. The sintered material has a density of 3.98 g/m 3>. An independent claim is also included for a measuring membrane for a pressure sensor produced using the above method. Preferred Features: The sintering step is a pre-sintering process carried out at 1250-1350[deg] C followed by a post-sintering process carried out in a protective gas atmosphere at a pressure of not less than 100 MPa and at 1250-1400[deg] C. Ein Verfahren zur Herstellung eines elastischen Verformungskörpers aus einer Al2O3-Keramik verwendet eine hochreine Tonerde mit höchstens 2000 ppm MgO, höchstens 200 ppm anorganischen Verunreinigungen, einer spezifischen Oberfläche von mindestens 10 m2/g, einer mittleren Korngröße von höchstens 0,3 µm, wobei mit der Tonerde und Zusätzen über wässrige Aufbereitung ein homogenes Gemisch erzeugt wird, aus dem ein pressfähiges Sprühgranulat erzeugt wird, welches mittels eines uniaxialen Pressverfahrens zu einem homogenen Grünkörper geformt wird, der einem Sinterprozess ausgesetzt wird, wobei der resultierende elastische Verformungskörper eine Biegebruchspannung sigmac aufweist, deren Verteilung F(sigmac) durch die Weibull-Parameter sigma0 >= 800 MPa und m >= 24 gegeben ist, mit einer mittleren Korngröße des gesinterten Materials von nicht mehr als 2 µm, und wobei das gesinterte Material des Verformungskörpers eine Dichte von nicht weniger als 3,98 g/m2 aufweist.