Verfahren zur Kontrasterhöhung

Verfahren zur Erhöhung des Kontrastes der optischen Abbildung in einer Hellfeld-Inspektionsanordnung für eine zu untersuchende Probe mittels einer linienförmigen Beleuchtung und einer Zeilenkamera, dadurch gekennzeichnet, daß der Abbildungsstrahlengang durch wenigstens zwei Filter (9, 10) in Teilstr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VOITEL, MARKO, TOTH, DANIEL, BOCK, ANDREAS, MIX, ERIC, NIEDERJOHANN, BRITTA
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zur Erhöhung des Kontrastes der optischen Abbildung in einer Hellfeld-Inspektionsanordnung für eine zu untersuchende Probe mittels einer linienförmigen Beleuchtung und einer Zeilenkamera, dadurch gekennzeichnet, daß der Abbildungsstrahlengang durch wenigstens zwei Filter (9, 10) in Teilstrahlengänge zerlegt wird, die mittels einer mit einem Zeilensensor (19) versehenen Farbzeilenkamera (5) getrennt aufgenommen werden, und daß die Unterschiede der so erzeugten Teilbilder analysiert werden, wobei durch den Zeilensensor (19) wenigstens zwei unterschiedliche Farben detektierbar sind.