Verfahren zur Temperaturmessung an Substraten und Vakuumbeschichtungsanlage

Verfahren zur Temperaturmessung an Substraten (13), wobei die Substrate (13) durch eine Vakuumkammer an mindestens einer Wärmequelle vorbei bewegt werden und die Substrattemperatur an mindestens zwei Positionen, die das Substrat (13) bei seiner Bewegung durch die Vakuumkammer nacheinander einnimmt,...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KAMMER, MANFRED, STEUER, CHRISTOPH, SENS, MARTIN, WENZEL, BERND-DIETER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COLORIMETRY DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING MEASURING QUANTITY OF HEAT MEASURING TEMPERATURE METALLURGY PHYSICS RADIATION PYROMETRY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TESTING THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zur Temperaturmessung an Substraten (13), wobei die Substrate (13) durch eine Vakuumkammer an mindestens einer Wärmequelle vorbei bewegt werden und die Substrattemperatur an mindestens zwei Positionen, die das Substrat (13) bei seiner Bewegung durch die Vakuumkammer nacheinander einnimmt, durch je ein Pyrometer (9, 10, 11, 12) bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Pyrometer (9, 10, 11, 12) durch Vergleich von gemessener und berechneter Abkühlung der Substrate (13) im Vakuum kalibriert wird.