Workpiece i.e. wafer, positioning device, has sensor supported on rotor of rotation unit, which forms fixed, anchored, stator fixed sensor rotation unit with rotary measuring system, and line-cross grid arranged opposite to sensor

The device has a drive (1) i.e. planar drive, with a planar motor plate (2) for alignment in an orthogonal XY-coordinate system. An incident light sensor unit (6) has a sensor (7), and a line-cross grid (8) for position determination is connected with the plate. The sensor is supported on a rotor of a rotation unit (3) e.g. roller bearing, which forms a fixed, anchored, stator fixed sensor rotation unit (10) with a rotary measuring system. The grid is arranged opposite to the sensor in a fixed distance. The system or the unit (3) has a control unit to determine and locate a rotation angle of the rotation unit. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur planaren Positionierung von Werkstücken, umfassend einen Antrieb mit einer Planarmotorplatte für eine Ausrichtung in einem orthogonalen XY-Koordinatensystem und eine Auflichtsensoreinheit mit einem Sensor und einem mit der Planarmotorplatte verbundenen Linien-Kreuzraster zur Positionsbestimmung. Erfindungsgemäß ist der Sensor auf einem Rotor einer Dreheinheit gelagert und es bildet die Dreheinheit eine raumfest verankerte statorgestellfeste Sensordreheinheit, wobei das Linien-Kreuzraster in einem festen Abstand gegenüber dem Sensor angeordnet ist.