Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen von Substraten

Verfahren zum Kühlen von Substraten (1) in einer Behandlungskammer (2), in der die Substrate (1) einer Behandlung mit Wärmeeintrag unterzogen werden, wobei die Substrate (1) als Substratanordnung (5) auf einem um eine Achse (3) drehbaren Substratträger (4) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, da...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BUSCHBECK, GUNTER, STEINBORN, KLAUS-DIETER, SOLGER, NORBERT, WEISFLOG, JOACHIM, UHLIG, SOEREN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zum Kühlen von Substraten (1) in einer Behandlungskammer (2), in der die Substrate (1) einer Behandlung mit Wärmeeintrag unterzogen werden, wobei die Substrate (1) als Substratanordnung (5) auf einem um eine Achse (3) drehbaren Substratträger (4) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass - die Substratanordnung (5) zur Achse (3) radial außerhalb und in einem definierten Sektor (14) mit einem Kühlgas beaufschlagt wird, - wobei das Kühlgas mittels einer Umwälzpumpe (11) als Kühlgasstrom parallel oder radial-tangential zur Achse (3) flächig von einer Seite des definierten Sektors (14) zur gegenüberliegenden Seite geleitet wird, - dass der Kühlgasstrom vom Austritt aus dem definierten Sektor (14) in eine Gas-Rückströmkammer (10) geleitet wird, - dass das Kühlgas von der Umwälzpumpe (11) aus der Gas-Rückströmkammer (10) abgesaugt wird und - dass dem Kühlgas mindestens außerhalb des definierten Sektors (14) über Kühlflächen Wärme entzogen wird.