Rotary rate sensor, has compensation electrode provided for partial compensation of levitation force acting on coriolis element parallel to deflection, where deflection of coriolis element is provided in detectable manner by detection unit

The sensor (1) has a substrate (2) with a main extension level and a coriolis element (3), where the coriolis element is provided to a vibration (5) parallel to an axis (X) by an excitation unit (4) in an excited manner. A deflection of the coriolis element is provided in a detectable manner by a detection unit due to a coriolis force in another axis (Z) perpendicular to the axis (X). A compensation electrode (7) is provided for partial compensation of a levitation force acting on the coriolis element parallel to the deflection. An independent claim is also included for a method for an operation of a rotary rate sensor. Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem ersten Coriolis-Element vorgeschlagen, wobei das erste Coriolis-Element mittels erster Anregungsmittel zu einer ersten Schwingung parallel zu einer ersten Achse anregbar vorgesehen ist und wobei eine erste Auslenkung des ersten Coriolis-Elements aufgrund einer Corioliskraft in einer im Wesentlichen zur ersten Achse senkrechten zweiten Achse mittels erster Detektionsmittel nachweisbar vorgesehen ist und wobei ferner der Drehratensensor wenigstens eine Kompensationselektrode aufweist, welche zur zumindest teilweisen Kompensation einer auf das erste Coriolis-Element zur ersten Auslenkung parallel wirkenden Levitationskraft vorgesehen ist.