Sensor position's coordinate measuring apparatus, has adjusting unit adjusting position of detector in adjustment direction dependent on temperature, and holder holding detector during position change caused in adjustment direction

The apparatus (1) has a sensor (5) for mechanical and/or optical scanning of a device under test (DUT). A measuring unit and a detector determine coordinates of a momentary position of the sensor with respect to a coordinate axis. The detector is moved along the axis by movement of the sensor. The detector is not moved when the sensor is moved along the axis. A holder holds the detector, and an adjusting unit adjusts a position of the detector in an adjustment direction dependent on temperature. The holder holds the detector during position change caused in the direction. An independent claim is also included for a method for manufacturing a coordinate measuring apparatus. Die Erfindung betrifft ein Koordinatenmessgerät, aufweisend - einen Sensor (5) zum mechanischen und/oder optischen Abtasten eines Messobjekts, wobei der Sensor (5) zumindest entlang einer Koordinatenachse bewegbar ist, - eine Einrichtung zum Bestimmen (23, 27) von Koordinaten einer momentanen Position des Sensors (5) bezüglich der Koordinatenachse, wobei die Einrichtung einen Messwertgeber (27) aufweist, der bei einer Bewegung des Sensors (5) entlang der Koordinatenachse mitbewegt wird, oder wobei die Einrichtung einen Messwertgeber aufweist, der nicht mitbewegt wird, wenn der Sensor entlang der Koordinatenachse bewegt wird, - eine Halteeinrichtung (25) zum Halten des Messwertgebers (27), - und eine Stelleinrichtung (26) zum Einstellen einer Position des Messwertgebers (27) in einer Stellrichtung, insbesondere entlang der Koordinatenachse, abhängig von der Temperatur, wobei die Halteeinrichtung (25) ausgestaltet ist, den Messwertgeber (27) während einer von der Stelleinrichtung (26) verursachten Positionsänderung zu halten.