Aerosolerzeugerdüse, Aerosolerzeugersystem, Beschichtungssystem und Verfahren

Eine Aerosolerzeugerdüse (2) weist einen Druckgasauslass (4) mit mindestens einer Auslassöffnung (6) zum Erzeugen einer Gasströmung (5) und mindestens zwei Materialauslässe (10) auf. Für jeden der mindestens zwei Materialauslässe (10) ist jeweils ein Materialzufuhrströmungsweg (12) vorgesehen, über...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SAMWER, KONRAD, MOSNEAGA, VASILE, BELENCIUC, ALEXANDR, SAPOVAL, OLEG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL ATOMISING APPARATUS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY NOZZLES PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SPRAYING APPARATUS SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Aerosolerzeugerdüse (2) weist einen Druckgasauslass (4) mit mindestens einer Auslassöffnung (6) zum Erzeugen einer Gasströmung (5) und mindestens zwei Materialauslässe (10) auf. Für jeden der mindestens zwei Materialauslässe (10) ist jeweils ein Materialzufuhrströmungsweg (12) vorgesehen, über welchen ein Prekursormaterial dem betreffenden Materialauslass (10) zuführbar ist zum Abgeben des Prekursormaterials durch den Materialauslass (10). Jeder Materialauslass (10) ist zum Abgeben eines Prekursormaterials (11) in die Gassströmung (5) angeordnet. Die Aerosolerzeugerdüse (2) ermöglicht eine hohe Schichtqualität. Gemäß einer Ausführungsform ist der Materialauslass (10) radial innerhalb des Druckgasauslasses (4) angeordnet.