Verfahren zur Detektion von Oberflächenänderungen

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Detektion von Oberflächenänderungen und der Identifizierung des Auslösers, der die Oberflächenänderung bewirkt hat, sowie geeignete Mittel dazu.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SEILER, HANS JOERG, DONKELS, NORBERT, DRENKER, KARL-HEINZ
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Detektion von Oberflächenänderungen und der Identifizierung des Auslösers, der die Oberflächenänderung bewirkt hat, sowie geeignete Mittel dazu.