Sensor element for use in e.g. garage for emission investigation, has protective layers designed congruently to surfaces of electrodes of system, where upper surfaces of electrodes face surfaces of electrodes are arranged on isolation layer

The element has protective layers (1a, 1b) arranged on measuring electrodes (3, 4) of a measuring electrode system (2). The protective layers are designed congruently to upper surfaces (6a, 6b) of the measuring electrodes, respectively. The upper surfaces of the measuring electrodes face surfaces of...

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Hauptverfasser: OCHS, THORSTEN, ROESCH, SABINE, HEIMANN, DETLEF
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The element has protective layers (1a, 1b) arranged on measuring electrodes (3, 4) of a measuring electrode system (2). The protective layers are designed congruently to upper surfaces (6a, 6b) of the measuring electrodes, respectively. The upper surfaces of the measuring electrodes face surfaces of measuring electrodes are arranged on an isolation layer (5). The electrodes of the layers comprise metal e.g. platinum/ceramic-cermets such as platinum/Aluminum oxide-Cermet, and a support layer is made of zirconium oxide i.e. yttrium-endowed zirconium oxide, and/or alumina. An independent claim is also included for a method for manufacturing a sensor element. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Detektion von Partikeln in einem Gas, umfassend eine Schutzschicht (1a; 1b), ein Messelektrodensystem (2) mit mindestens einer ersten (3) und einer zweiten (4) kammartig ineinander greifenden Messelektrode und eine Isolationsschicht (5), wobei die Schutzschicht (1a; 1b) auf den Messelektroden (3, 4) angeordnet ist und die Messelektroden (3, 4) auf der Isolationsschicht (5) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement mindestens eine erste (1a) und eine zweite (1b) Schutzschicht aufweist, wobei die erste Schutzschicht (1a) kongruent zu der oberen Fläche (6a) der ersten Messelektroden (3) und die zweite Schutzschicht (1b) kongruent zu der oberen Fläche (6b) der zweiten Messelektroden (4) ausgebildet und/oder angeordnet ist, wobei die obere Fläche (6a, 6b) einer Messelektrode (3, 4) diejenige Fläche ist, welche der auf der Isolationsschicht (5) angeordneten Fläche (8a, 8b) der Messelektrode (3, 4) gegenüberliegt, sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensorelements und die Verwendung eines solchen Sensorelements.