Device for focusing a laser beam used during the modification of workpieces comprises a lens group which is mounted so that it can be moved in the axial direction and a further lens group fixed in relation to the other lens group

Device for focusing a laser beam comprises a lens group (22, 23) which is mounted so that it can be moved in the axial direction and a further lens group (24) fixed in relation to the other lens group. The moving lens group is structured to adjust the focus position in the axial direction while maintaining the same magnification. An independent claim is also included for a method for focusing a laser beam using the above device. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Fokuslagen-Stabilisierung bei Optiken für Hochleistungs-Laserstrahlung. Zur Lösung dieses Problems ist vorgesehen, dass der Fokus mittels beweglicher optischer Elemente und einer Steuerung bei Auftreten der Laserstrahl-induzierten Fokuslagen-Änderung in entgegengesetzter Richtung verschoben wird, so dass der Fokus in Summe in der Soll-Lage verbleibt, wobei die Information über die notwendige Korrektur nicht als Temperaturmessungen gewonnen wird, sondern entweder aus Informationen über die momentane Leistung des Laserstrahls berechnet wird oder durch einen Autofokus-Sensor direkt bestimmt wird.