Optical imaging system's resolution increasing method for e.g. microscope, involves transforming distribution of field of radiation in pupil into plane so that image of object is obtained with resolution that is larger than given resolution

The method involves illuminating an object (8) in different lighting modes and imaging the object by utilizing a projection lens (3) in an image plane. Distribution of an electrical field of radiation is determined, where the field is distributed when imaging is performed in a pupil (12). A complex pupil image is computationally framed for determining distribution of the field of radiation in a virtual pupil. The distribution in the virtual pupil is computationally transformed into the plane, so that an image of the object is obtained with a resolution that is larger than given resolution. An independent claim is also included for a device for increasing resolution of an optical imaging system. Es wird bereitgestellt ein Verfahren zur Erhöhung der Auflösung eines optischen Abbildungssystems mit einer eine Pupille und eine Bildebene aufweisenden Abbildungsoptik (3) und einem Beleuchtungsmodul (6), das Strahlung zur Beleuchtung eines abzubildenden Objektes (8) abgibt, mit den Schritten: a) Beleuchten des Objektes in unterschiedlichen Beleuchtungsmodi, die sich durch den Einfallswinkel der Strahlung auf das Objekt (8) voneinander unterscheiden, und Abbilden des beleuchteten Objektes (8) mittels der Abbildungsoptik (3) in die Bildebene mit einer durch das Abbildungssystem (2) vorgegebenen Auflösung, b) Bestimmen der während der Abbildung in der Pupille (12) vorliegenden Verteilung des elektrischen Feldes der Strahlung als komplexes Pupillenbild für jeden Beleuchtungsmodus, c) rechnerisches Zusammensetzen der komplexen Pupillenbilder zur Ermittlung einer Verteilung des elektrischen Feldes der Strahlung in einer fiktiven Pupille (20), die größer ist als die Pupille (12) der Abbildungsoptik (3), und d) rechnerisches Transformieren der Verteilung des elektrischen Feldes der Strahlung in der fiktiven Pupille (20) in die Bildebene, so daß ein Bild des Objekts (8) mit einer Auflösung erhalten wird, die größer ist als die vorgegebene Auflösung.