Field-guided planar precision drive for use with air-mounted rotor bearing permanent magnet circuit, has stator plate beneath rotor, and pairs of drive coils lying oppositely are provided on stator plate

The field-guided planar precision drive has a stator plate beneath the rotor, and pairs of drive coils (3) lying oppositely are provided on the stator plate. The stator plate has a linear guidance (5) for each pair of drive coils, in order to move the pairs of drive coils along the x or y axis of the coordinate system. The adjustment of a rotor (1) in x and y direction generates force component to the opposite pairs of drive coils. Die Erfindung betrifft einen feldgeführten planaren Präzisionsantrieb mit einem luftgelagerten Läufer, welcher Permanentmagnetkreise aufweist, weiterhin mit einer unterhalb des Läufers befindlichen Statorplatte, auf der Statorplatte jeweils gegenüberliegend vorgesehenen Antriebsspulenpaaren, um je nach Bestromung der Antriebsspulenpaare Kraftwirkungen auf den Läufer mit den Permanentmagnetkreisen auszuüben, wobei die Antriebsspulenpaare symmetrisch in einem rechtwinkligen x-y-Koordinatensystem angeordnet sind. Erfindungsgemäß weist die Statorplatte Linearführungen für jedes Antriebsspulenpaar auf, um eine Bewegung der Antriebsspulenpaare entlang der jeweiligen x- oder y-Achse des Koordinatensystems zu erreichen, wobei bei einer Verstellung des Läufers in x-Richtung eine Kraftkomponente zum Mitziehen oder Mitbewegen derjenigen gegenüberliegenden Antriebsspulenpaare vorliegt oder erzeugt wird, welche der Verstellung des Läufers in y-Richtung dienen, sowie bei einer Verstellung des Läufers in y-Richtung eine Kraftkomponente zum Mitziehen oder Mitbewegen derjenigen gegenüberliegenden Antriebsspulenpaare vorliegt oder erzeugt wird, welche der Verstellung des Läufers in x-Richtung dienen.