Sensorelement zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases

Es wird ein Sensorelement zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration mindestens einer Gaskomponente im Messgas, angegeben, das mindestens eine keramische Schicht (11, 12), eine an die mindestens eine keramische Schicht (11, 12) angrenzende Diffusi...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DIEHL, LOTHAR, SEILER, THOMAS, GRAEBER, JOACHIM, EISELE, ULRICH, OHLY, CHRISTIAN, STRASSNER, WALTER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird ein Sensorelement zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere der Konzentration mindestens einer Gaskomponente im Messgas, angegeben, das mindestens eine keramische Schicht (11, 12), eine an die mindestens eine keramische Schicht (11, 12) angrenzende Diffusionsbarriere (15) und mindestens eine dem durch die Diffusionsbarriere (15) hindurchdiffundierenden Messgas ausgesetzte Elektrode (18) aufweist. Zur Reduzierung von Fertigungsstreuungen bezüglich statistischer Druckabhängigkeit und Grenzstrom der Diffusionsbarriere (15) sidn die Anteile an Silizium in der Diffusionsbarriere (15) und in der mindestens einen keramischen Schicht (11, 12) annähernd gleich unhd unterscheiden sich um nicht mehr als 1 Gew.-%.