Scanning unit for micromechanical scanning sensor, has functional part connected with base, and sensor head extending from end region of functional part and arranged in region of short side of rectangular cross section of functional part

The scanning unit (13) has a base (13a) for fastening the scanning unit to a sensor arm of a raster-force-microscope. A functional part (13b) is connected with the base, where the cross section of the part is rectangular, circular or elliptical. A sensor head (14) extends from an end region (13c) of the functional part in such a manner that an angle between a longitudinal axis of the sensor head and a level running orthogonal to the longitudinal axis is varied from 0 degree. The sensor head is arranged in a region of a short side of the rectangular cross section of the functional part. An independent claim is also included for a micromechanical scanning sensor for a raster-force-microscope, with a retaining member and a scanning unit. Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abtasteinheit (13) für einen mikromechanischen Abtastsensor (10), insbesondere eines Raster-Kraft-Mikroskops, mit einem Basisteil (13a) zur Befestigung der Abtasteinheit (13) an einem Sensorarm (12) des Raster-Kraft-Mikroskops und mit einem Funktionsteil (13b), das mit dem Basisteil (13a) verbunden ist und das vorzugsweise eine im Wesentlichen zylindrische Form und an einem Endbereich (13c) mindestens eine Sensorspitze (14) aufweist. Erfindungsgemäß erstreckt sich die Sensorspitze (14) derart von dem Endbereich (13c) des Funktionsteils (13b) weg, dass ein Winkel (alpha) zwischen einer Längsachse (S) der Sensorspitze (14) und einer zu der Längsachse (L) des Funktionsteils (13b) im Wesentlichen orthogonal verlaufenden Ebene (E) von 0° verschieden ist.