Component e.g. micro-actuator, manufacturing method, involves connecting layers of flat material in stack by forming micro-structured component by joining process, and forming micro-impression at laminated side of flat material

The method involves providing a flat material (F) with an undercoating, and laminating the flat material at a side with a joining layer. A micro-impression corresponding to a micro-hole is formed at one side in the flat material by a molding process under formation of a micro-structured flat material. A stack of two layers of the flat material is formed for forming a layer of the micro-structured flat material. The layers of the flat material in the stack are connected by forming a micro-structured component by a joining process. The impression is formed at the laminated side of the material. Zur Vereinfachung der Herstellung von Mikrohohlräume aufweisenden Bauteilen wird ein Verfahren vorgeschlagen, das folgende Verfahrensschritte aufweist: a) Bereitstellen von Flachmaterial; b) Beschichten des Flachmaterials an mindestens einer Seite mit jeweils mindestens einer Fügeschicht; c) Bilden mindestens einer dem mindestens einen Mikrohohlraum entsprechenden Mikrovertiefung an mindestens einer Seite in dem Flachmaterial mit einem Prägeverfahren unter Bildung von mikrostrukturiertem Flachmaterial; d) Stapeln von mindestens zwei Lagen von Flachmaterial, von denen mindestens eine mit mikrostrukturiertem Flachmaterial gebildet ist, wobei mindestens eine mit jeweils mindestens einer Mikrovertiefung versehene Seite des mikrostrukturierten Flachmaterials in dem Stapel an einer benachbarten Lage von Flachmaterial anliegt; und e) Verbinden der Lagen des Flachmaterials im Stapel unter Bildung des mindestens einen mikrostrukturierten Bauteils mit einem Fügeverfahren. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrovertiefungen an der mit der mindestens einen Fügeschicht beschichteten Seite des Flachmaterials gebildet werden.