Spectrometer i.e. oscillating mirror spectrometer, for e.g. optical spectrometry, has oscillating mirror provided downstream of optical path for imaging spectrum of radiation, where mirror is provided in area of optical path

The spectrometer has a radiation source, an entrance slit (1) and an imaging diffraction grating (2) that are provided in a path of rays. An optical field lens (3), an imaging lens (4), an oscillating mirror (5) and a detector lens (6) e.g. convex lens, are provided downstream of an optical path for...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MARTIN, DIETRICH, CORRENS, NICO, SANDFUCHS, OLIVER, KERSTAN, FELIX, DOBSCHAL, HANS-JUERGEN
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The spectrometer has a radiation source, an entrance slit (1) and an imaging diffraction grating (2) that are provided in a path of rays. An optical field lens (3), an imaging lens (4), an oscillating mirror (5) and a detector lens (6) e.g. convex lens, are provided downstream of an optical path for imaging a spectrum of radiation passing via the entrance slit to a detector (7) e.g. line detector. The mirror is provided in an area of the optical path. The grating is designed as a hybrid-optical element having a nano-structured aspherical or free forming surface. Die Erfindung betrifft ein Spektrometer für optische Spektrometrie, welches u. a. eine Strahlungsquelle, einen Eintrittsspalt (1) und ein abbildendes Beugungsgitter (2) umfasst. Diesem Beugungsgitter (2) sind im Strahlengang eine optische Feldlinse (3), eine abbildende Linse (4), ein Schwingspiegel (5) und mindestens ein weiteres abbildendes optisches Element (6) zur Abbildung des Spektrums der den Eintrittsspalt (1) passierenden Strahlung auf einen einzelnen Detektor (7) nachgeordnet. Der Schwingspiegel (5) ist in einem Bereich des Strahlenganges vorgesehen, in welchem die Strahlenführung nahezu parallel erfolgt.