Einrichtung zur Funktionskontrolle von Verdampferschiffchen in evakuierbaren Bearbeitungskammern

Einrichtung zur Funktionskontrolle von Verdampferschiffchen in evakuierbaren Bearbeitungskammern mit - separat aus der Bearbeitungskammer (4) herausgeführten Zuleitungen (2) für jeweils ein Verdampferschiffchen (1) und - jeweils eine bei Stromfluss (IS) in der Zuleitung (2) den daraus resultierenden...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WINKLER, ROLF, HEICKE, STEFFEN, DUERSEL, ACHIM, BOERNERT, SIEGFRIED
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Einrichtung zur Funktionskontrolle von Verdampferschiffchen in evakuierbaren Bearbeitungskammern mit - separat aus der Bearbeitungskammer (4) herausgeführten Zuleitungen (2) für jeweils ein Verdampferschiffchen (1) und - jeweils eine bei Stromfluss (IS) in der Zuleitung (2) den daraus resultierenden stromäquivalenten Spannungsabfall in der Zuleitung (2) zwischen zwei beanstandet zueinander angeordneten Kontaktstellen (3a, 3b) messende und außerhalb der Bearbeitungskammer (4) angeordnete Einrichtung an jeder der Zuleitungen (2), so dass * bei einem Stromfluss (IS) und einem daraus resultierenden Spannungsabfall größer 0 das Verdampferschiffchen (1) nicht defekt ist, * eine Bestückung durch Widerstandsänderung und daraus resultierendem Spannungsabfall des Verdampferschiffchens (1) mit eingelegtem Verdampfungsmaterial und * eine Fehlbestückung eines Verdampfungsmaterials mit anderem elektrischen Widerstand gegenüber dem abzuscheidenden Verdampfungsmaterial und dem daraus resultierenden Spannungsabfall feststellbar ist.