Ultraschallsensor mit einer an einem Substrat angebrachten Vibrationseinrichtung

Ein Ultraschallsensor (10), der aus einem Substrat (12) und einer an dem Substrat (12) angebrachten piezoelektrischen Vibrationseinrichtung (11) besteht, wird vorteilhafterweise als Sensor verwendet, um einen Abstand zu einem Objekt zu erfassen, das sich vor einem Kraftfahrzeug befindet. Ultraschallwellen, die von dem Sensor (10) übertragen werden, werden von dem Objekt reflektiert, und die reflektierten Wellen werden von dem Sensor aufgenommen. Auf der Grundlage der reflektierten Wellen wird der Abstand von dem Fahrzeug zu dem Objekt berechnet. Um die Starrheit zu verringern und dadurch eine Resonanzfrequenz des Substrats (12) auf ein Sollniveau abzusenken, sind in dem Substrat (12) Ausnehmungen (14) ausgeformt. Eine Dicke des Substrats (12) wird nicht verringert, um seine mechanische Festigkeit hinsichtlich einer Stoßkraft aufrechtzuerhalten. Auf diese Art und Weise wird ohne Vergrößern des Ultraschallsensors (10) eine Resonanzfrequenz erzielt, die wünschenswert ist, um eine ausreichend hohe Richtfähigkeit und Empfindlichkeit zu realisieren. An ultrasonic sensor composed of a substrate and a piezoelectric vibrator mounted on the substrate is advantageously used as a sensor for detecting a distance to an object located in front of an automotive vehicle. Ultrasonic waves transmitted from the sensor are reflected by the object, and the reflected waves are received by the sensor. Based on the reflected waves, the distance from the vehicle to the object is calculated. To reduce rigidity and thereby to lower a resonant frequency of the substrate to a desirable level, grooves are formed in the substrate. A thickness of the substrate is not reduced to maintain its mechanical strength against an impact force. A resonant frequency which is desirable to realize a sufficiently high directivity and sensitivity is obtained in this manner without enlarging a size of the ultrasonic sensor.