Production of an electrically conducting vaporizer body for vaporizing metals in a physical vapor deposition process comprises sintering two different powder mixtures in a common hot pressing method forming an upper layer and a lower layer

Production of an electrically conducting vaporizer body comprises sintering two different powder mixtures in a common hot pressing method forming an upper layer and a lower layer. Each powder mixture has at least two different powder components selected from borides, nitrides, oxides, carbides, sulfides, silicides and metals. The mixing ratio of the components of one powder mixture is adjusted differently to the mixing ratio of the components of the other powder mixture. An independent claim is also included for a two-layer vaporizer body produced by the above process. 2-Schicht-Verdampferkörper und Verfahren zur Herstellung desselben, wobei bei dem Verfahren zwei unterschiedliche Pulvermischungen in einem gemeinsamen Heißpressprozess unter Ausbildung einer oberen Schicht (3), die durch eine der beiden Pulvermischungen gebildet wird, und einer unteren Schicht (5), die durch die andere der beiden Pulvermischungen gebildet wird, versintert werden, wobei jeweils mindestens zwei unterschiedliche pulverförmige Komponenten verwendet werden, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die aus Boriden, Nitriden, Oxiden, Carbiden, Siliciden, Sulfiden, Metallen und deren Gemischen besteht, und das Mischungsverhältnis der Komponenten der einen Pulvermischung anders eingestellt wird als das Mischungsverhältnis der Komponenten der anderen Pulvermischung und/oder mindestens eine Komponente der einen Pulvermischung derart gewählt wird, dass sie unterschiedlich zu den Komponenten der anderen Pulvermischung ist, und/oder die mittlere Korngröße mindestens einer Komponente der einen Pulvermischung derart eingestellt wird, dass sie unterschiedlich zu der mittleren Korngröße von mindestens einer der Komponenten der anderen Pulvermischung ist, und das Mischungsverhältnis und/oder die Komponenten und/oder die mittleren Pulverkorngrößen der Komponenten der jeweiligen Pulvermischung derart eingestellt werden, dass nach dem Heißpressprozess die obere Schicht (3) elektrisch isolierend und die untere Schicht (5) elektrisch leitfähig ist und das Wärmedehnungsverhalten ...