Vacuum measuring device, has cold cathode ionization manometer arranged in measuring tube by inverse magnetron type and heat conducting manometer, and including two cathodes concerning measuring tube opening of tube housing

The device has a cold cathode ionization manometer arranged in a measuring tube housing (MRG) by an inverse magnetron type and a heat conducting manometer. The manometer has two cathodes (K1, K2) arranged in series concerning a measuring tube opening (MOE) of the tube housing. Discharged gas is separated and annealed between cathodes and an anode (A) of the cold cathode ionization manometer. A discharge path between the cathode (K1) and the anode is formed as a gas cleaning device. The heat conducting manometer is arranged in a chamber behind the cathode (K2) concerning the opening. Die Erfindung betrifft ein Vakuummessgerät, bei dem in einer gemeinsamen Messröhre ein Kaltkathoden-Ionisationsmanometer vom inversen Magnetrontyp und ein Wärmeleitungsmanometer angeordnet sind, wodurch ein großer Messbereich realisiert wird. Bei einem derartigen Vakuummessgerät wird ohne Reduzierung des Messbereichs die Kontaminationsrate verringert und damit eine längere Lebensdauer erzielt, indem das Kaltkathoden-Ionisationsmanometer zwei in Bezug auf die Messröhrenöffnung hintereinanderliegende, separat angesteuerte Kathoden aufweist, die von einer gemeinsamen Anode umgeben sind. Die dem Messröhreneingang benachbarte erste Entladungsstrecke zwischen der ersten Kathode und der Anode fungiert dabei als Gasreinigungsvorrichtung, in der über plasma-chemische Dissoziationsreaktionen in die Messröhre eintretende Kohlenwasserstoff- oder andere kontaminierende Dämpfe gekrackt bzw. polymerisiert werden. Für die Druckmessung des Kaltkathoden-Ionisationsmanometers wird ausschließlich der zwischen der zweiten Kathode und der Anode fließende Entladungsstrom ausgewertet. Das Wärmeleitungsmanometer ist in dem Raum hinter der zweiten Kathode angeordnet, der infolge der Wirkung der Entladungsstrecken des Kaltkathoden-Ionisationsmanometers weitgehend kontaminationsfrei ist.