Herstellungsverfahren für Gasmessfühler

Verfahren zur Herstellung eines Gasmessfühlers, der einem Messgas auszusetzen ist, mit den Schritten:Zusammenbauen eines Elementaufbaus aus einem Festelektrolytkörper, durch den Sauerstoffionen gehen können und der zwei Oberflächen hat, die zueinander längs einer ersten Richtung entgegengesetzt sind, einer Gasmesselektrode, die auf einer der Oberflächen des Festelektrolytkörpers angeordnet ist und dem Messgas ausgesetzt ist, das an einem Gaseinlass des Elementaufbaus eindringt, einer Bezugsgaselektrode, die auf der anderen Oberfläche des Festelektrolytkörpers angeordnet ist und einem Bezugsgas ausgesetzt ist, und einer Heizung, die auf oder nahe an dem Festelektrolytkörper angeordnet ist, so dass sie einer der Oberflächen des Festelektrolytkörpers zugewandt ist, und ein Heizungssubstrat und ein in oder auf dem Heizungssubstrat angeordnetes Heizelement aufweist, das den Festelektrolytkörper erhitzt, wobei das Heizungssubstrat einen Seiteneckbereich hat, der sich in einer zweiten Richtung, die senkrecht zur ersten Richtung ist, auf einer Seiteneckfläche des Elementaufbaus befindet und längs einer dritten Richtung verläuft, die senkrecht zur ersten und zweiten Richtung ist, so dass er längs der zweiten Richtung an das Heizelement angrenzt; undAusbilden einer porösen Schutzschicht auf dem Elementaufbau, wobei der Schritt Ausbilden der porösen Schutzschicht Folgendes umfasst:Ausbilden einer aus einem organischen Material bestehenden Maskenschicht auf zumindest einem Abschnitt des Seiteneckbereichs des Heizungssubstrats der Heizung;Aufbringen eines Schutzschichtformmaterials auf einer Oberfläche des Elementaufbaus, so dass der Gaseinlass und die Maskenschicht mit dem Schutzschichtformmaterial bedeckt sind;Durchführen einer Wärmebehandlung für das Schutzschichtformmaterial, damit aus dem Schutzschichtformmaterial die poröse Schutzschicht wird, so dass der Gasmesselektrode gestattet wird, dem durch die poröse Schutzschicht gehenden Messgas indirekt ausgesetzt zu sein; undEntfernen der Maskenschicht und der auf die Maskenschicht aufgebrachten porösen Schutzschicht von dem Elementaufbau, so dass zumindest dem Abschnitt des Seiteneckbereichs gestattet wird, dem Messgas direkt ausgesetzt zu sein. A gas sensing member has a unit structure and a porous protective layer disposed on the unit structure. The unit structure has a solid electrolyte body, a gas measurement electrode disposed on a surface of the body and exposed to a measured gas entering at a gas inlet, a refe