Verfahren und Vorrichtung zur Rotationsbeschichtung von Substraten

Verfahren zum Rotationsbeschichten eines scheibenförmigen Substrats mit den Schritten: Aufbringen einer viskosen Flüssigkeit auf dem Substrat und Rotieren des Substrats zum Verteilen der Flüssigkeit, Messen der Schichtdickenverteilung der auf das Substrat aufgebrachten Flüssigkeit und Regeln der Sch...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHWARZKOPF, ROLAND, HEINEMANN, MICHAEL, GUTJAHR, ANDREAS, RUETH, EDGAR
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL INFORMATION STORAGE INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORDCARRIER AND TRANSDUCER PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zum Rotationsbeschichten eines scheibenförmigen Substrats mit den Schritten: Aufbringen einer viskosen Flüssigkeit auf dem Substrat und Rotieren des Substrats zum Verteilen der Flüssigkeit, Messen der Schichtdickenverteilung der auf das Substrat aufgebrachten Flüssigkeit und Regeln der Schichtdickenverteilung der auf das Substrat aufzubringenden Flüssigkeit für nachfolgende Beschichtungsprozesse durch Variieren der Viskosität der aufzubringenden Flüssigkeit in Abhängigkeit der gemessenen Schichtdickenverteilung, wobei die Viskosität der Flüssigkeit örtlich variiert wird.