Device for separating and transporting of disc-shaped substrates, has support unit arranged inside fluid, in which individual substrates stand sequentially one behind other in form of substrate pile in feed direction

The device has a support unit (104) arranged inside a fluid, in which individual substrates (102) stand sequentially one behind the other in the form of a substrate pile (103) in a feed direction. A withdrawal device (107) is provided for separating and transporting the substrate. The withdrawal device has a gripper (108) for holding the substrate. A flow device (117) is provided for fanning a part of substrate pile and a pressing element is provided, which acts against the fanned out substrates. An independent claim is also included for a method for fanning out, isolating and transporting disc-shaped substrates. Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Vereinzeln und Transportieren eines scheibenförmigen Substrats (102; 202) wie beispielsweise eines Solarwafers. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass Vereinzelungen innerhalb eines Fluids stattfinden, und dass zwischen einem Greifer (108; 208) und dem zu vereinzelnden Substrat (102; 202) Adhäsionskräfte entstehen, die ein Anhaften an dem Greifer (108; 208) ermöglichen. Durch die Entnahme quer zur Vorschubrichtung (105; 205) oder insbesondere parallel zur flächigen Ausbildung der Substrate (102; 202) ist eine sehr schonende und effiziente Vereinzelung von scheibenförmig gestalteten Substraten (102; 202) mit einer hohen Taktzeit möglich.