Verfahren und System zur zufälligen Verteilung von Scheiben in einer komplexen Prozesslinie

Verfahren mit: Erhalten eines ersten Auswahlregelsatzes zur Auswahl einer Teilmenge (201a) aus einer Gruppe von Substraten (201), wobei die Teilmenge (201a) in einem ersten Messprozess (230) einer Fertigungsumgebung (200), die ein erstes Prozessmodul (210) und ein zweites Prozessmodul (240) aufweist...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Stirton, James Broc, Good, Richard
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren mit: Erhalten eines ersten Auswahlregelsatzes zur Auswahl einer Teilmenge (201a) aus einer Gruppe von Substraten (201), wobei die Teilmenge (201a) in einem ersten Messprozess (230) einer Fertigungsumgebung (200), die ein erstes Prozessmodul (210) und ein zweites Prozessmodul (240) aufweist, zu bearbeiten sind, wobei der erste Messprozess (230) ein Prozessergebnis des ersten Prozessmoduls (210) für Substrate der ersten Teilmenge (201a) misst und der erste Auswahlregelsatz gewünschte Auswahlkriterien für das erste Prozessmodul (210) erfüllt; Messen der ersten Teilmenge (201a) in dem ersten Messprozess (230); Erhalten eines zweiten, speziell für eine Prozesssituation des zweiten Prozessmoduls (240) angepassten Auswahlregelsatzes für die Gruppe aus Substraten (201), die in einem zweiten Messprozess (250) zu bearbeiten sind, wobei der zweite Messprozess (250) ein Prozessergebnis des zweiten Prozessmoduls (240) zumindest auf der Grundlage der Teilmenge (201a) misst; Koordinieren des Bearbeitens der Teilmenge (201a) aus Substraten (201) in dem zweiten Prozessmodul (240) gemäß dem ersten und dem zweiten Auswahlregelsatz zur Verbesserung der Relevanz der entsprechend erzeugten Messdaten; und Ausführen von Messungen mit dem zweiten Messprozess (250) zumindest an der Teilmenge (201a) nach Bearbeitung der Gruppe aus Substraten in dem zweiten Prozessmodul.