Method for inserting and removing substrates from a vacuum coating installation comprises replacing already coated substrates with substrates to be coated while maintaining the process vacuum and further processing

Method for inserting and removing substrates (6) from a vacuum coating installation comprises replacing already coated substrates with substrates to be coated while maintaining the process vacuum in the vacuum chamber (1), removing a coated substrate (10) from the substrate holders of a rotating basket and removing from the chamber, inserting a substrate to be coated and fixing to the substrate holders of the basket. An independent claim is also included for a vacuum coating installation. Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zum Schleusen von Substraten, insbesondere zum Eizw. aus Vakuumbeschichtungsanlagen, die mit so genannten Drehkörben ausgestattet sind. Das erfindungsgemäße Verfahren zum Ein- und Ausschleusen von Substraten an einer Vakuumbeschichtungsanlage mit mindestens einer Vakuumkammer und mindestens einem in der Vakuumkammer angeordneten, drehbar gelagerten Drehkorb mit Substrataufnahmemitteln zur lösbaren Befestigung von Substraten ist dadurch gekennzeichnet, dass unter Aufrechterhaltung des Prozessvakuums in der Vakuumkammer bereits beschichtete Substrate nacheinander durch zu beschichtende Substrate ersetzt werden, indem ein beschichtetes Substrat von den Substrataufnahmemitteln des Drehkorbs gelöst und aus der Vakuumkammer ausgeschleust und ein zu beschichtendes Substrat in die Vakuumkammer eingeschleust und an den frei gewordenen Substrataufnahmemitteln des Drehkorbs befestigt wird. Die erfindungsgemäße Vakuumbeschichtungsanlage mit mindestens einer Vakuumkammer und mindestens einem in der Vakuumkammer angeordneten, drehbar gelagerten Drehkorb zur Substrataufnahme ist dadurch gekennzeichnet, dass in mindestens einem von den auf der Mantelfläche des Drehkorbs angeordneten Substraten überstrichenen Bereich mindestens einer Kammerwand der Vakuumkammer eine Schleusenöffnung mit einem daran angebrachten Schleusenventil vorgesehen ist.