Measuring cell device for pressure sensor, has membrane and strength measuring element, impinged with pressure for measuring fluid, where measuring element is connected with side facing away from pressure of membrane
The cell device has a membrane (18) and a strength measuring element (14), impinged with pressure for measuring a fluid. The measuring element is connected with a side facing away from pressure (22) of the membrane. The side bends during the membrane deflection. The strength measuring element has a...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; ger |
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Zusammenfassung: | The cell device has a membrane (18) and a strength measuring element (14), impinged with pressure for measuring a fluid. The measuring element is connected with a side facing away from pressure (22) of the membrane. The side bends during the membrane deflection. The strength measuring element has a glass substrate (15) and a resistance element (32), which is applied on the substrate and changes the resistance with the deflection of the substrate. A glass film (24) has a melting point below the melting point of the substrate and the membrane. Independent claims are also included for the following: (1) a pressure sensor with a measuring cell device (2) a method for producing a measuring cell device.
Die Erfindung betrifft eine Messzellenanordnung (10) für einen Drucksensor, mit einer durch ein zu messendes Fluid mit Druck beaufschlagbaren Membran (18) sowie einem Kraftmesselement (14), das mit einer druckabgewandten Seite (22) der Membran (18) verbunden ist, so dass es bei Auslenkung der Membran (18) verbogen wird, wobei das Kraftmesselement (14) ein Substrat (15) aus Glas sowie wenigstens ein auf dem Glassubstrat (15) aufgebrachtes Widerstandselement (32) aufweist, das seinen Widerstand bei Verbiegung des Glassubstrats (15) ändert, außerdem das Glassubstrat (15) mittels eines Glasfilms (24) aus einem Glas, dessen Schmelzpunkt unter dem Schmelzpunkt des Glases des Glassubstrats (15) und unter dem Schmelzpunkt des Materials der Membran (18) auf der Membran befestigt ist. |
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