Lichtunterstütztes Testen eines optoelektronischen Moduls
Testvorrichtung zum Detektieren von Defekten aus Silizium und/oder amorphem Silizium in einem optoelektronischen Modul (10), umfassend:a. eine erste Quelle (11) zum Erzeugen eines elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls (15);b. eine zweite Quelle (12) zum Beleuchten des optoelektronischen M...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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