Lichtunterstütztes Testen eines optoelektronischen Moduls

Testvorrichtung zum Detektieren von Defekten aus Silizium und/oder amorphem Silizium in einem optoelektronischen Modul (10), umfassend:a. eine erste Quelle (11) zum Erzeugen eines elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls (15);b. eine zweite Quelle (12) zum Beleuchten des optoelektronischen M...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Brunner, Matthias, Mueller, Bernhard Gunter, Schmid, Ralf
Format: Patent
Sprache:ger
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