Lichtunterstütztes Testen eines optoelektronischen Moduls

Testvorrichtung zum Detektieren von Defekten aus Silizium und/oder amorphem Silizium in einem optoelektronischen Modul (10), umfassend:a. eine erste Quelle (11) zum Erzeugen eines elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls (15);b. eine zweite Quelle (12) zum Beleuchten des optoelektronischen M...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Brunner, Matthias, Mueller, Bernhard Gunter, Schmid, Ralf
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH ISMODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THEDEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY,COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g.SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING FREQUENCY-CHANGING MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES NON-LINEAR OPTICS OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS OPTICAL LOGIC ELEMENTS OPTICS PHYSICS TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Testvorrichtung zum Detektieren von Defekten aus Silizium und/oder amorphem Silizium in einem optoelektronischen Modul (10), umfassend:a. eine erste Quelle (11) zum Erzeugen eines elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls (15);b. eine zweite Quelle (12) zum Beleuchten des optoelektronischen Moduls; undc. einen Detektor (13; 13a, 13b, 13c; 13d, 13e),d. Mittel, die das Beleuchten des optoelektronischen Moduls vor dem Richten des elektromagnetischen Strahls oder Teilchenstrahls abschließen, wobei die Mittel dazu ausgelegt sind, das optoelektronische Modul vor der Messung von Defekten für eine Beleuchtungsdauer zwischen 100 µs und 0,5 s zu bestrahlen. The present invention relates to a device for testing an optoelectronic module, comprising a first source for generating an electromagnetic beam or particle beam, a second source for illuminating the optoelectronic module; and a detector. In addition, a method for testing an optoelectronic module is provided comprising illuminating the optoelectronic module, directing an electromagnetic beam or particle beam and detecting defects in the optoelectronic module. The illumination additional to the electromagnetic beam or particle beam makes defects visible which otherwise would not be detected.