Verfahren zum Herstellen einer Polierslurry mit hoher Dispersionsstabilität

Die vorliegende Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zum Herstellen einer Polierslurry, umfassend ein Dispergieren von Polierteilchen, und einer anionischen polymeren Säure in Wasser und dann Zufügen zu der resultierenden Dispersion eines alkalischen Materials in einer Menge von 0,1 bis 8 G...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHO, YUNJU, HONG, DUKYOUNG, KIM, TAIYOUNG, LEE, INYEON, LEE, SANGICK, JEON, HOONSOO, PARK, EUNKYOUNG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ADHESIVES BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS CHEMISTRY COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES ORLACQUERS CORRECTING FLUIDS DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES DYES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS FILLING PASTES GRINDING INKS MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FORELSEWHERE METALLURGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS PAINTS PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING PERFORMING OPERATIONS POLISHES POLISHING POLISHING COMPOSITIONS OTHER THAN FRENCH POLISH SEMICONDUCTOR DEVICES SKI WAXES TRANSPORTING USE OF MATERIALS THEREFOR WOODSTAINS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zum Herstellen einer Polierslurry, umfassend ein Dispergieren von Polierteilchen, und einer anionischen polymeren Säure in Wasser und dann Zufügen zu der resultierenden Dispersion eines alkalischen Materials in einer Menge von 0,1 bis 8 Gewichtsteilen, basierend auf 100 Gewichtsteilen der Polierteilchen. Die Polierslurry, die durch das erfindungsgemäße Verfahren erhalten wird, zeigt eine gute Dispersionsstabilität und eine Nicht-Preston-Polierleistung, die nützlicherweise beim chemisch-mechanischen Polieren von verschiedenen elektronischen Präzisionsvorrichtungen eingesetzt werden kann. The present invention relates to an improved method for preparing a polishing slurry, comprising dispersing polishing particles and an anionic polymeric acid in water and then adding to the resulting dispersion an alkaline material in an amount of 0.1 to 8 weight parts based on 100 weight parts of the polishing particles. The polishing slurry obtained by the inventive method exhibits good dispersion stability and non-Prestonian polishing performance, which can be beneficially employed in chemical mechanical polishing of various precision electronic devices.