Optimierung der Lichtweggleichförmigkeit in Inspektionssystemen

Ein Inspektionssystem enthält eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist zum Beleuchten einer Blaze-Phasengitter-Probe, Bildsammelwege und ein Abbildungssystem, das konfiguriert ist zum Aufnehmen eines Bildes eines Probenpunktes der Blaze-Phasengitter-Probe sowie ein Controller, der konfiguriert...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KUNKEL, GERHARD, LOMTSCHER, PATRICK, SCHUMACHER, KARL, ROBERTS, WILLIAM
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Inspektionssystem enthält eine Beleuchtungsquelle, die konfiguriert ist zum Beleuchten einer Blaze-Phasengitter-Probe, Bildsammelwege und ein Abbildungssystem, das konfiguriert ist zum Aufnehmen eines Bildes eines Probenpunktes der Blaze-Phasengitter-Probe sowie ein Controller, der konfiguriert ist zum Einstellen der Beleuchtungsquelle ansprechend auf eine Analyse des Bildes des Probenpunktes zum Bestimmen der Beleuchtungsgleichförmigkeit des Inspektionssystems.