Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers

Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage, mit einem Verdampferkörper-Außenteil 3, das aus einem warmgesinterten keramischen, elektrisch isolierenden Material ist und das einen durchgehenden inneren Hohlraum 7 mit eine...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GOETZ, ULRICH, NUERNBERGER, MICHAEL, WILLER, ALFRED
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage, mit einem Verdampferkörper-Außenteil 3, das aus einem warmgesinterten keramischen, elektrisch isolierenden Material ist und das einen durchgehenden inneren Hohlraum 7 mit einer Begrenzungswand hat, auf deren Außenseite eine Abdampffläche 9 ausgebildet ist, von welcher aus ein darauf zugeführtes Metall verdampfbar ist, und auf deren Innenseite eine der Abdampffläche 9 gegenüberliegende Wärmeaufnahmefläche 13 ausgebildet ist, und mit einem Verdampferkörper-Kernteil 5, das in dem inneren Hohlraum 7 mit Spiel aufgenommen ist und sich durch den Hohlraum 7 hindurch erstreckt und das aus einem im Wesentlichen elektrisch leitfähigen Material ist, so dass es elektrisch widerstandsheizbar ist, um den Verdampferkörper 1 auf seine Betriebstemperatur aufzuheizen, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten hat als das Verdampferkörper-Außenteil 3, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers 1 an der Wärmeaufnahmefläche des Verdampferkörper-Außenteils 3 ohne Spiel plan anliegt.