Beschleunigungssensor

Ein Beschleunigungssensor gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst ein erstes Substrat (1), ein mehrschichtiges zweites Substrat (2) und einen Sensorabschnitt. Das mehrschichtige zweite Substrat (2) liegt dem ersten Substrat (1) gegenüber. Das mehrschichtige zweite Substrat (2) ist mit einer Elektrodenführungsöffnung (2a) versehen. Weiter besteht das mehrschichtige zweite Substrat (2) aus einer Mehrzahl von Schichten. Der Sensorabschnitt (ein beweglicher Massekörper (4) und eine feste Elektrode (5)) ist in einem abgedichteten Hohlraumabschnitt (3), der zwischen dem ersten Substrat (1) und dem mehrschichtigen zweiten Substrat (2), die einander gegenüberliegen, ausgebildet ist. An acceleration sensor in accordance with an aspect of the present invention comprises a first substrate, a multilayer second substrate and a sensor portion. The multilayer second substrate is opposed to the first substrate. The multilayer second substrate is provided with an electrode drawing opening. Further, the multilayer second substrate consists of a plurality of layers. The sensor portion (a movable mass body and a fixed electrode) is provided in a sealed cavity portion which is formed between the first substrate and the multilayer second substrate which are opposed to each other.